Semitron® MPR 1000 PAI

Semitron® MPR 1000 oblika posjeduje odličnu otpornost na toplinu i niske stope izvlačenja i erozije u plazmi komorama. Ovaj materijal visoke čistoće sa niskim jonskim sadržajem često se odabran za primjene vakuumske komore unutar ETCH, CVD i ION podloga implantata u industriji poluvodiča i elektronike.

Semitron® MPR 1000 prikazuje povećani vijek trajanja preko tradicionalnih materijala, na primjer do 25x preko poliimida u ozon u nekim slučajevima. Zbog svoje dugovječnosti naveden je protiv tradicionalnih materijala koji se koriste u vakuumskim komori, kao što su kvarc, keramika, poliimida i druga inženjerska plastika.

Svojstva materijala

Niski jonski sadržaj i nisko izvlačenje

Odlična otpornost na toplinu

Snimina stopa erozije u plazmi komorama

Optimalni otpor čipova, izdržljivost i obradivost

Dizajniran posebno za zahtjevne aplikacije Komore

Primjene: vakuumske komore na bazi plazme, stezaljke, prstenovi, vijci, igle, tuš glave, prstenovi fokusa, izolatori, vakuumski jastučići

O Semitronu ®

Proizvodi poluvodičke razrede razvijeni su za pomoć dizajnerima i korisnicima optimiziranje performansi opreme za proizvodnju uređaja. Pored proizvodnje uređaja, mnogi od tih materijala idealni su za specifična okruženja u kojima su potrebna otpornost na habanje, hemijski otpor i upravljanje statičkim elektricitetom.

Razvijene su dvije grupe proizvoda. Jedan, dobro prilagođen za rukovanje i testiranje uređaja, te sekundu za CMP, plazma i ETCH komore nove generacije.

Semitronske ocjene dostupne su u listu, štapom (neke formulacije) i obrađenim dijelovima.